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1. Für die ID-Beschriftung von Halbleiterwafern, kompatibel mit 6- und 8-Zoll-Wafern
2. Geeignet für gängige Wafermaterialien: Si, GaAs, SiC
3. Vollautomatischer Betrieb, ausgestattet mit FFU-Filtermodul
4. Ausgestattet mit Zweiarm-Roboter; SMIF-Lademodul optional
5. Entspricht den SEMI-Standards und unterstützt das SECS/GEM-Kommunikationsprotokoll
Hauptsächlich für die ID-Beschriftung von Wafern bis 12 Zoll aus Si, GaAs, SiC, EMC, Lötstoppmaskenmaterialien und weiteren Werkstoffen.