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HDZ-9222
HDZ-9222

Automatische Wafer-ID-Laserbeschriftungsanlage

HDZ-9222

Maschinenmerkmale

1. Kompatibel mit Wafern bis 8 Zoll; optionaler Loadport für 12-Zoll-Wafer

2. Doppelarm-Manipulator zur effizienten Steigerung der Bearbeitungsleistung

3. Spezielle Ausrichteinheit für die flexible Einstellung der Randbeschriftungsposition

4. Elektrischer Fokussiermechanismus zur Höhenanpassung entsprechend der Produktdicke

5. Manipulator mit Mapping-Funktion zur Erkennung übereinanderliegender und fehlpositionierter Wafer


Technische Daten

Maschinenmodell

HDZ-9222

Laserwellenlänge

UV-, grüne und Infrarotlaserquellen
  355 nm, 532 nm, 1064 nm

Zuführmodus

Doppelarm-Manipulator

Kühlverfahren

Luftkühlung / Wasserkühlung

Wiederholpositionier-
  genauigkeit

±0,1 mm

Bearbeitbare Produkttypen

Wafer bis 8 Zoll (optionaler Loadport für   12-Zoll-Wafer)

Anzahl bearbeiteter Wafer pro Stunde

120-150 Stück/h

Unterstützte Dateiformate

DXF, PLT

Stromversorgung

AC 220 V, 50/60 Hz

Druckluftversorgung

0,6-0,8 MPa

Gesamtabmessungen

2000 × 1200 × 1850 mm


Prozesseffekte

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