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HDZ-9121
HDZ-9121

Automatische Wafer-DIE-Laserbeschriftungsanlage

HDZ-9121

Maschinenmerkmale

1. Geeignet für die Beschriftung der Vorder- und Rückseite von Wafern sowie für die Beschriftung von Bare Dies und lichtdurchlässigen Folien.

2. Automatischer Betrieb; der Doppelarm-Manipulator erhöht die Bearbeitungseffizienz.

3. Leistungsüberwachungssystem zur Gewährleistung gleichbleibender Bearbeitungsergebnisse


Technische Daten

Maschinenmodell

HDZ-9121

Laserwellenlänge

UV- und grüne Laserquellen
  355 nm, 532 nm

Mindestzeichenhöhe

0,15 mm

Kühlverfahren

Wasserkühlung

Wiederholpositioniergenauigkeit

±0,05 mm

Bearbeitbare Produkttypen

Wafer bis 12 Zoll

Unterstützte Dateiformate

DXF, PLT

SECS/GEM

Unterstützt (optional)

Versorgungsspannung

AC 220 V / 50 Hz

Druckluftversorgung

0,6-0,8 MPa

Gesamtabmessungen

2500 × 1900 × 2200 mm


Prozesseffekte

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