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1. Von Han’s Laser selbst entwickeltes PMU-Messsystem mit einer Widerstandsmessgenauigkeit von bis zu ±0,05 %.
2. Von Han’s Laser selbst entwickeltes Abgleichsoftwaresystem, das mehrere Abgleichpfadmuster unterstützt.
3. Unterstützt den Abgleich von Parametern wie Widerstand, AC- und DC-Spannung sowie Strom.
4. Stabil und zuverlässig; abgeglichene Parameter bleiben hochstabil und driftfrei.
5. Geringe Betriebs- und Wartungskosten, hoher Gesamtwirkungsgrad und niedriger Energieverbrauch; mit integrierten Schutzfunktionen.
6. Integrierte CNC-Programmierfunktion zur schnellen Umsetzung kundenspezifischer Anforderungen.
Laser-Widerstandsabgleichsysteme werden breit in Dünnschichtschaltungen und Präzisions-Dünnschichtwiderständen eingesetzt, einschließlich des Laserabgleichs von Dünnschicht-Widerstandswafern. Diese Dünnschichtwiderstände kommen in Präzisionselektronikschaltungen wie Kopplern, Filtern, Dämpfungsgliedern, Abschlusswiderständen und Verstärkern zum Einsatz.
Laser-Abgleichanlagen können für den Widerstandsabgleich von Dickschichtwiderständen und den Funktionsabgleich von Dickschichtschaltungen eingesetzt werden. Dickschichtschaltungen finden breite Anwendung in Industrie- und Leistungselektronik, Automobilelektronik, Sensorik und Messtechnik, Computer- und Kommunikationselektronik, Unterhaltungselektronik und Medizintechnik sowie in der Luft- und Raumfahrt und weiteren Bereichen.
Maschinenmodell | HTS800-RH / HTS801-RH | |
Lasersystem | Lasertyp | Faserlaser/UV-Laser |
Wellenlänge | 1064 nm/355 nm | |
Ausgangsleistung | 20 W/1–4 W | |
Wiederholfrequenz | 1–100 kHz/1–500 kHz | |
Pulsbreite | 3–500 ns/<50 ns | |
Optisches System | Typ | Hochgeschwindigkeits-Galvanometer |
Typische Spotgröße | 15–40 μm/6–15 μm | |
Scanbereich | 70 × 70 mm/30 × 30 mm | |
Scanauflösung | 1 μm | |
Wiederholgenauigkeit | ±2 μm | |
Bildverarbeitungssystem | Koaxiale Überwachung | 5-Megapixel-Industriekamera |
Paraxiale Positionierung | 5-Megapixel-Industriekamera mit intelligenter Bildverarbeitungssteuerung | |
Arbeitstisch | Plattformtyp | Linearmotor mit Gittermaßstab |
X/Y-Bereich | 300 × 300 mm | |
Wiederholgenauigkeit | ±2 μm | |
Aufnahmetisch | Elektrische Verstellung, Drehbereich: ±5° | |
Substratgröße für die Bearbeitung (kundenspezifisch anpassbar) | 100 × 100 mm | |
Messsystem | Kompatibilität | Messungen im nieder-, mittel- und hochohmigen Bereich |
Messmethode | 2-Leiter- oder 4-Leiter-Messung | |
Widerstand | Bereich: 100 mΩ–100 MΩ | |
Niederohmig: ±[0,05 % + 0,5 %/R (Ω)] | ||
Mittelohmig: ±0,05 % | ||
Hochohmig: ±[0,05 % + 0,05 % × R (MΩ)] | ||
Spannung | Bereich: -10 V bis +150 V | |
Endwertgenauigkeit 0,01 % | ||
Messkanäle | 48 (erweiterbar auf 144) | |
Messzeit | 3 μs/Messung; entsprechend den Kundenanforderungen einstellbar | |
Fehlerkompensation | Automatische Ein-Klick-Kalibrierung | |